多级罗茨结构的干式真空泵
应用场景：半导体蚀刻、PECVD（等离子体化学气相沉积）、镀膜等制程
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关键参数
√抽速约 706CFM（N₂）
√极限压力 3×10⁻³Torr
√具备抗腐蚀性
√低噪音等特性
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