普发涡轮分子泵 HiPACE 100-700M
涡轮分子泵
行业应用：晶圆刻蚀、薄膜沉积、离子注入设备、质谱仪、扫描电镜、表面分析设备、光学薄膜镀膜、装饰性涂层设备、真空冶金、核聚变实验装置、材料表征系统
详情请咨询：13901543292李小姐
QQ咨询：290962889
详细介绍
性能优势
√高抽速与超高压缩比
极限真空低，能快速建立超高真空环境
√耐用的轴承系统
采用混合型陶瓷球轴承，无油润滑、寿命超 5 万小时，维护间隔长
√宽工况适配
配合前级泵可从大气压启动，兼容可凝性气体
√智能集成且易安装
标配数字控制器，可实时监控状态，体积紧凑、支持任意角度安装适配空间受限的设备
√清洁无油
泵腔无油污染，排气洁净，满足半导体、生物医药等高洁净度工艺要求
普发OktaLine G 罗茨泵
普发DUO Line 双级旋片真空泵
普发双级旋片真空泵Duo1.5-35
普发涡轮分子泵ATH500-3204M
普发 ACP15-90 多级干式罗茨泵
普发HENA Line 旋片式真空泵
普发AD650H 型干式真空泵
普发SPLIT FLOW 分子泵
普发HiLobe罗茨真空泵
普发HENA Line 干式螺杆真空泵