普发HENA Line 干式螺杆真空泵
干式螺杆真空泵
行业应用：半导体有刻蚀和沉积等，光伏有硅片镀膜、电池片封装的真空系统，化工有大规模溶剂回收、真空干燥的连续产线，镀膜有大面积玻璃或者金属镀膜设备的主抽泵
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详细介绍
核心特点
√大抽量 + 高真空：抽速覆盖数百至数千 m³/h，适配大规模真空工艺
√高洁净性：干式无油设计，无油蒸汽 / 颗粒物污染，满足半导体、光伏等精密行业的洁净要求
√高稳定性：独立冷却系统 + 重载结构，支持 24 小时连续运行，适配工业产线的高负荷需求
√易维护：螺杆转子磨损率低，维护间隔长，降低工业产线的停机成本
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