普旭螺杆泵COBRA DS5161/9161B
干式真空泵
优势：适用于化学气相沉积、快速热处理或原子层沉积等应用、均配备集成的高性能罗茨泵、出色的粉末处理能力和长时间正常运行、可以防止受到腐蚀和出现沉积。采用高效的间接水冷方式、就地安装设计
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详细介绍
性能优点：
√性能出色
先进的螺杆设计，出色的运行品质，集成罗茨泵，非常适用于化学气相沉积、快速热退火或原子层沉积等应用
√高效
拥有成本低，维护少，保养间隔长，正常运行时间长，高效水冷却，高氢气吞吐量
√结构紧凑
密闭式设计，直联的罐装电机
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