普旭螺杆泵COBRA DS8162/8163 B/F
新一代干式真空泵
高要求工艺：先进的螺杆设计、采用干式和非接触式工作原理、出色的粉末处理能力、高效的间接水冷、紧凑的就地安装设计、高抽氢速率、高效率电机、尺寸丰富并配备集成罗茨泵
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详细介绍
性能优点
√性能出色
先进的螺杆设计，出色的运行品质，集成罗茨泵，非常适用于高容量 load lock 和镀膜工艺
√高效
拥有成本低，维护少，保养间隔长，正常运行时间长，高效水冷却，高溶剂吞吐量
√结构紧凑
密闭式设计，直联的罐装电机，前级泵和罗茨泵组合安装于底座上，模块化设计
市场和应用：显示器-Load lock 腔体、水产养殖-养殖池通风
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