汉钟P-iPH干式螺旋真空泵
iPH 系列干式螺旋真空泵浦
严苛设计:凭藉宽温度适用范围,泵浦可灵活调整运行条件,拥有镀层技术,进一步增强抗腐蚀性能,保障泵浦在长期运行中的稳定性与可靠性
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详细介绍
产品特点与优势
√精简转子结构设计,延长平均无故障时间(MTBF)
√抽速范围 (100–1800 m3/hr)
√真空度稳定可靠性
√适用多种制程应用
√模组化设计,便于维护
√可灵活更换通讯模组,搭配不同设备
√提供SEMI-S2 / SEMI-F47 / CE 认证

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